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本发明公开了一种超声增强摩擦化学催化成膜方法，并公开了方法所使用的研磨剂、碳基薄膜及成膜装置，涉及碳基薄膜制备和加工技术领域。该成膜方法包括配置含钯纳米颗粒和碳前驱体溶液的研磨剂，并将待覆膜工件表面进行超声振动辅助研磨，研磨中采用步骤S1配...
该专利属于贵州大学所有，仅供学习研究参考，未经过贵州大学授权不得商用。

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