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一种晶圆夹紧装置及半导体设备，在晶圆夹紧装置工作时，在垂直于晶圆表面的方向上，吸盘为晶圆提供吸力，用于承载晶圆；在平行于晶圆表面的方向上，驱动机构对夹紧元件施加力，夹紧元件在晶圆的径向方向上移动，使得夹紧元件的竖向表面与晶圆侧壁抵接。因此，...
该专利属于浙江创芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江创芯集成电路有限公司授权不得商用。

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