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本技术提供了一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉，涉及晶圆加工技术领域，以解决现有技术中存在的由于晶圆置于烘干板的中间，晶圆的边缘在移动杆的位置无法受到烘干板的加热烘干，且烘干板仅设计一个温区，存在局部未彻底烘干，晶圆受热不均，影...
该专利属于ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司授权不得商用。

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