【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，尤其是涉及一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉。
技术介绍
1、在晶圆加工过程中，产品玻璃粉浆料印刷到圆片后进入烘箱。
2、目前的烘干炉，如图1所示，一般将烘干板61设置在传送组件两移动杆62的中间，且烘干板61设置一个温区，烘干使用时，将晶圆置于烘干板的中间烘干。
3、本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题：
4、由于晶圆置于烘干板的中间，晶圆的边缘在移动杆的位置无法受到烘干板的加热烘干，且烘干板仅设计一个温区，存在局部未彻底烘干，晶圆受热不均，影响产品的质量及产量的问题。
5、因此，亟待需要一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种玻璃钝化印刷用烘干板及具有该烘干板的烘干炉，以解决现有技术中存在的由于晶圆置于烘干板的中间，晶圆的边缘在移动杆的位置无法受到烘干板的加热烘干，且烘干板仅设计一个温区，存在局部未彻底烘干，晶圆受热不均，影响产品的质...
【技术保护点】
1.一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于，包括烘板主体、传送组件和加热组件，其中：
2.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于：所述烘板主体包括依次设置的第一烘板、第二烘板和第三烘板，所述第一烘板、所述第二烘板、所述第三烘板上分别设置一组所述加热组件。
3.根据权利要求2所述的一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于：所述第一烘板、所述第二烘板、所述第三烘板上均沿长度方向开设第一条形孔和第二条形孔，其中：
4.根据权利要求3所述的一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于：所述传送组件包括动力装置和与所述动力装置电连接的传送...
【技术特征摘要】
1.一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于，包括烘板主体、传送组件和加热组件，其中：
2.根据权利要求1所述的一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于：所述烘板主体包括依次设置的第一烘板、第二烘板和第三烘板，所述第一烘板、所述第二烘板、所述第三烘板上分别设置一组所述加热组件。
3.根据权利要求2所述的一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于：所述第一烘板、所述第二烘板、所述第三烘板上均沿长度方向开设第一条形孔和第二条形孔，其中：
4.根据权利要求3所述的一种玻璃钝化印刷用烘干板，其特征在于：所述传送组件包括动力装置和与所述动力装置电连接的传送轨，所述传送轨设置于所述第一条形孔组、所述第二条形孔组内。
5.根据权利要求4所述的一种玻璃钝化印刷...
【专利技术属性】
技术研发人员：李天龙，魏文博，范玉丰，黄志焕，徐长坡，丰小伟，白红宾，王喻印，李斌，常旭，
申请(专利权)人：TCL环鑫半导体天津有限公司，
类型：新型
国别省市：
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