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本发明涉及一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，信息收集模块接受来自系统的多维度异构数据；信息处理模块对收集的数据进行编码和预处理；多层次关系感知模块对处理的数据进行关系建模，构建包括物理层、工艺层和调度层的多层次关系模型；调度触发...
该专利属于东华大学所有，仅供学习研究参考，未经过东华大学授权不得商用。

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