一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统技术方案

本发明专利技术涉及一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，信息收集模块接受来自系统的多维度异构数据；信息处理模块对收集的数据进行编码和预处理；多层次关系感知模块对处理的数据进行关系建模，构建包括物理层、工艺层和调度层的多层次关系模型；调度触发决策模块对多层次关系模型结合深度强化学习进行调度决策和触发，实现预测性触发、事件驱动触发和多层次协同触发；GUI结果输出模块对调度结果和系统状态进行可视化展示。解决了现有晶圆制造调度触发决策系统难以满足晶圆制造的高复杂度需求的问题，本发明专利技术能够有效处理晶圆制造过程中的复杂调度问题，提高生产效率和设备利用率，减少生产周期时间，适应动态变化的制造环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造、智能制造和人工智能技术，特别是涉及一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统。

技术介绍

1、晶圆制造作为半导体产业链的核心环节，其车间具有“多工序（数百道工艺）、多设备（千台级）、多约束（洁净度/温度/时序）”的复杂特性，生产过程中设备故障、工艺波动、订单变更等动态事件频发，导致晶圆制造工况复杂，难以确定调度触发时机，传统调度触发决策方法面临以下挑战：

2、关系建模维度单一：现有方法多聚焦工件与机器的二元关系，忽略物理层（设备布局）、工艺层（工序依赖）、调度层（资源竞争）的跨层交互，例如设备位置会影响工件流转时间，进而制约工艺顺序决策。

3、调度触发决策可靠性不足：传统方法采用固定时间间隔或简单事件触发的调度策略，缺乏对系统状态的预测性分析；除此之外传统触发决策模型难以嵌入工艺规则（如光刻对准精度要求）、设备物理特性（如扩散炉温度曲线）等领域知识，使得调度决策低效。

4、近年来，基于图神经网络的制造调度方法逐渐兴起，然而，现有方案尚未解决多层次关系建模、智能触发机制与物理约束嵌入的关键问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1. 一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，其特征在于，包括信息收集模块、信息处理模块、多层次关系感知模块、调度触发决策模块和GUI结果输出模块；其中，信息收集模块接受来自系统的多维度异构数据，包括设备状态数据、工艺流程数据和物料状态数据；信息处理模块对信息收集模块收集的数据进行编码和预处理，包括工艺状态编码、设备状态编码和物料状态编码；多层次关系感知模块对信息处理模块处理的数据进行关系建模，构建包括物理层、工艺层和调度层的多层次关系模型；调度触发决策模块对多层次关系模型结合深度强化学习进行调度决策和触发，实现预测性触发、事件驱动触发和多层次协同触发；GUI 结果输出模块对调度触...

【技术特征摘要】

1. 一种考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，其特征在于，包括信息收集模块、信息处理模块、多层次关系感知模块、调度触发决策模块和gui结果输出模块；其中，信息收集模块接受来自系统的多维度异构数据，包括设备状态数据、工艺流程数据和物料状态数据；信息处理模块对信息收集模块收集的数据进行编码和预处理，包括工艺状态编码、设备状态编码和物料状态编码；多层次关系感知模块对信息处理模块处理的数据进行关系建模，构建包括物理层、工艺层和调度层的多层次关系模型；调度触发决策模块对多层次关系模型结合深度强化学习进行调度决策和触发，实现预测性触发、事件驱动触发和多层次协同触发；gui 结果输出模块对调度触发决策模块产生的调度结果和系统状态进行可视化展示。

2.根据权利要求1所述的考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，其特征在于，具体包括：

3.根据权利要求1所述的考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，其特征在于，信息收集模块具体如下：

4.根据权利要求1所述的考虑多层次关系的晶圆制造调度触发决策系统，其特征在于，信息处理模块具体...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洁，陈达，吴立辉，张朋，吕佑龙，
申请(专利权)人：东华大学，
类型：发明
国别省市：