下载一种基于半导体减薄工艺后产品追溯方法的技术资料

文档序号:46430905

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本发明涉及合金涂层技术领域,公开了一种基于半导体减薄工艺后产品追溯方法,以下步骤:在晶圆进入减薄工艺之前,采用激光打标机作为标识生成设备,对每一片晶初始标识符;运用研磨机对晶圆进行机械研磨将晶圆减薄至最终厚度;为经过减薄工艺处理后的晶圆,通...
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