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一种具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台，它涉及半导体检测技术领域，包括X轴驱动机构、Y轴驱动机构、Z轴驱动机构和检测光学头，X轴驱动机构包括X轴基座、X轴直线电机、X轴直线导轨以及X轴缓冲减震件：Y轴驱动机构包括Y轴基座、Y轴直线电机、...
该专利属于东莞市华石晶电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市华石晶电技术有限公司授权不得商用。

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