【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体检测，具体涉及一种具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台。
技术介绍
1、在半导体行业领域，我们一般把集成芯片的方形隐形框架称作料片(上面布满很多颗芯片)。为了提高效率，一般会把料片存储在料盒里，每个料盒能存储二三十片料片。需要对料盒中的料片进行检测，一般的工艺流程是上料机把装满料盒的料片，通过输送带把料片输送到检测位置上，带检测光学头的xyz(前后左右上下方向)运动平台对芯片进行检测。由于料片上每个芯片的间距很小(比如8mm)，带检测光学头的xyz运动平台移动到芯片上方时停止运动，相机对芯片拍照，然后再移动到下一个芯片上拍照，即运动-停止-拍照，不断重复此过程。在检测的过程中，带检测光学头的xyz运动平台，速度要求高(提高检测效率)、运动距离短，即瞬间加速，又瞬间减速。
2、传统的运动平台，通常是由伺服/步进电机带动滚珠丝杆旋转从而带动工作台直线运动,由于滚珠丝杆中的滚珠和丝杆有间隙，导致转速有限制,很难实现高速高精度定位。近年来直线电机驱动的直线运动平台在半导体行业兴起,这种平台比传统丝杆驱动的平台有非常...
【技术保护点】
1.一种具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有反冲力减震的XYZ精密检测运动平台，其特征在于，所述X轴缓冲减震件包括设于X轴基座(101)上的X轴定子安装板(105)和X轴液压缓冲器(106)，所述X轴基座(101)上设置有与X轴定子安装板(105)滑移配合的X轴浮动直线导轨(112)，以使所述X轴定子安装板(105)能够在X轴基座(101)上随意滑动，所述X轴液压缓冲器(106)固定设于X轴基座(101)上，且所述X轴定子安装板(105)与X轴液压缓冲器(106)滑动连接。
3.根据权利要求2...
【技术特征摘要】
1.一种具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台，其特征在于，所述x轴缓冲减震件包括设于x轴基座(101)上的x轴定子安装板(105)和x轴液压缓冲器(106)，所述x轴基座(101)上设置有与x轴定子安装板(105)滑移配合的x轴浮动直线导轨(112)，以使所述x轴定子安装板(105)能够在x轴基座(101)上随意滑动，所述x轴液压缓冲器(106)固定设于x轴基座(101)上，且所述x轴定子安装板(105)与x轴液压缓冲器(106)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台，其特征在于，所述x轴缓冲减震件还包括x轴撞击板(107)，所述x轴撞击板(107)的两侧分别与x轴液压缓冲器(106)相抵接。
4.根据权利要求1所述的具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台，其特征在于，所述x轴驱动机构(100)还包括x轴磁栅读数尺(108)和x轴磁栅读数头(109)，所述x轴磁栅读数尺(108)固定设于x轴直线电机定子(102)上，所述x轴磁栅读数头(109)设于y轴基座(201)底侧对应x轴磁栅读数尺(108)处，以使所述x轴直线电机动子(103)带动y轴基座(201)滑动时，通过所述x轴磁栅读数头(109)和x轴磁栅读数尺(108)之间配合精准测量x轴直线电机动子(103)相对于x轴直线电机定子(102)的距离和方向。
5.根据权利要求1所述的具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台，其特征在于，所述x轴驱动机构(100)还包括x轴光栅读数尺(110)和x轴光栅读数头(111)，所述x轴光栅读数尺(110)沿x轴直线导轨(104)的长度方向设置，所述x轴光栅读数尺(110)设于x轴直线导轨(104)的外侧，所述x轴光栅读数头(111)设于y轴基座(201)对应x轴光栅读数尺(110)处，以使所述x轴直线电机动子(103)带动y轴基座(201)滑动时，通过所述x轴光栅读数尺(110)和x轴光栅读数头(111)之间的配合精准测量y轴基座(201)相对于x轴基座(101)的准确位置。
6.根据权利要求1所述的具有反冲力减震的xyz精密检测运动平台，其特征在于，所述y轴缓冲减震件包括设于y轴基座(201)上的y轴液压缓冲器(206)，所述y轴基座(201)上设置有与y轴直线电机动子(203)滑移配合的y轴浮动直线导轨(211)，以使所述y轴直线电机动子(203)能够在y轴基座(201)上随意滑动，所述y轴液压缓冲器(206)固定设于y轴基座(201)上，且所述y轴直线电机动子(203)与y轴液压缓冲器(20...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗建华，罗炜桓，刘佳华，陈林才，
申请(专利权)人：东莞市华石晶电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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