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本申请公开了一种具有晶圆夹持组件的干燥装置，包括集水座；夹持组件，包括相互连接的支撑件和夹持件，支撑件转动设置于集水座内，并用于放置晶圆，夹持件转动设置于支撑件，并能够在夹持晶圆的夹持位置和脱离晶圆的解锁位置之间移动；防水罩，位于夹持组件的...
该专利属于江苏元夫半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏元夫半导体科技有限公司授权不得商用。

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