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一种低温退火系统及低温退火方法，用于对具有金属薄膜的电池片进行退火处理。低温退火系统包括至少一个退火单元、传输组件、温控装置、真空装置及气体源。退火单元包括进料腔、工艺腔和出料腔；传输组件用于将电池片移进或移出退火单元，并将电池片在进料腔、...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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