低温退火系统及低温退火方法技术方案

一种低温退火系统及低温退火方法，用于对具有金属薄膜的电池片进行退火处理。低温退火系统包括至少一个退火单元、传输组件、温控装置、真空装置及气体源。退火单元包括进料腔、工艺腔和出料腔；传输组件用于将电池片移进或移出退火单元，并将电池片在进料腔、工艺腔和出料腔之间传输；温控装置用于调节工艺腔的温度实现退火处理，并调节出料腔的温度以对处理后的电池片进行冷却；真空装置用于为退火单元提供真空环境；气体源用于向退火单元提供惰性气体。本申请通过真空装置和气体源接入退火单元，能有效降低金属薄膜在烧结过程中的氧化风险，实现金属薄膜的低温退火，提高电池性能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏，更具体的说，涉及一种低温退火系统及低温退火方法。

技术介绍

1、对于钝化发射极和背面触点(perc)、隧穿氧化层钝化接触太阳能电池(topcon)和背接触电池(bc)技术等不同电池结构来说，电池外层膜层均为绝缘材料。为了能够让电池栅线和电池的硅材料之间形成良好的欧姆接触，需采用高温烧结的方式，将栅线“烧穿”电池表面的绝缘材料，使栅线直接和硅材料进行接触，从而实现有效连接。传统的工艺中，通常采用银浆制作栅线，通过高温烧结将银栅线“烧穿”绝缘材料，使银栅线与硅材料直接接触。

2、随着光伏电池的不断发展，光伏电池制造成本竞争不断加剧。在电池金属化工艺中，银浆材料的成本长期占据较大比例，而银资源有限，价格持续上涨，使得“以铜代银”成为产业关注的热点。然而，由于铜比银易氧化，增加了电池金属化工艺过程的难度和复杂度，而且工艺成本显著提高，因此，现有的适用于银浆料烧结的退火设备难以适用于铜浆料的烧结。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种低温退火系统及低温退火方法，用于对具有金属薄膜的电池片本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种低温退火系统，其特征在于，所述低温退火系统包括：

2.根据权利要求1所述的低温退火系统，其特征在于，所述进料腔和所述出料腔为同一个腔体，所述退火单元包括多个工艺腔，所述进料腔位于多个所述工艺腔之间。

3.根据权利要求2所述的低温退火系统，其特征在于，所述传输组件包括：

4.根据权利要求3所述的低温退火系统，其特征在于，包括多个并列设置的所述退火单元，相邻两个所述退火单元之间设有一个所述第一传输机构和一个所述转移机构。

5.根据权利要求1所述的低温退火系统，其特征在于，包括并排设置的所述多个退火单元，所述多个退火单元共用同一个所述进料...

【技术特征摘要】

1.一种低温退火系统，其特征在于，所述低温退火系统包括：

2.根据权利要求1所述的低温退火系统，其特征在于，所述进料腔和所述出料腔为同一个腔体，所述退火单元包括多个工艺腔，所述进料腔位于多个所述工艺腔之间。

3.根据权利要求2所述的低温退火系统，其特征在于，所述传输组件包括：

4.根据权利要求3所述的低温退火系统，其特征在于，包括多个并列设置的所述退火单元，相邻两个所述退火单元之间设有一个所述第一传输机构和一个所述转移机构。

5.根据权利要求1所述的低温退火系统，其特征在于，包括并排设置的所述多个退火单元，所述多个退火单元共用同一个所述进料腔和一个所述出料腔，所述进料腔和所述出料腔分别位于所述工艺腔的相对两端，沿所述进料腔至所述出料腔的第一方向，所述工艺腔包括多个串联的腔体。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的低温退火系统，其特征在于，所述真空装置包括第一真空组件和第二真空组件，所述第一真空组件与所述工艺腔连通，以为所述工艺腔提供真空环境；所述第二真空组件分别与所述进料腔和所述出料腔连通，以为所述进料腔和所述出料腔提供真空环境。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的低温退火系统，其特征在于，所述工艺腔包括相互连通的预热区和恒温区，沿所述预热区朝向所述恒温区的方向，所述预热区的温度梯度升高。

8.根据权利要求1至...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖扬鑫，朱广东，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：