温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种异质复合衬底及其制备方法和应用。该制备方法包括以下步骤：提供一半成品衬底和玻璃衬底，半成品衬底包括自下而上依次排布的硅基底层、支撑层、氢化非晶硅层和碳化硅层；将半成品衬底的碳化硅层面与玻璃衬底的一侧表面进行键合，得到键合体；对...
该专利属于青禾晶元（天津）半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青禾晶元（天津）半导体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。