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本技术公开了一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，包括烧结炉、槽沉炉、称重机构、驱动机构和槽沉模具，称重机构连接驱动机构，驱动机构连接石英棒，烧结炉的底端与槽沉炉的顶端连接且二者的内部腔体连通，槽沉模具设置于槽沉炉内。本技术将烧结炉与...
该专利属于江苏亨芯石英科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亨芯石英科技有限公司授权不得商用。

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