一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统技术方案

本技术公开了一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，包括烧结炉、槽沉炉、称重机构、驱动机构和槽沉模具，称重机构连接驱动机构，驱动机构连接石英棒，烧结炉的底端与槽沉炉的顶端连接且二者的内部腔体连通，槽沉模具设置于槽沉炉内。本技术将烧结炉与槽沉炉一体化设置，石英棒在烧结后直接进行槽沉整形，有效缩短生产时长，降低生产成本；通过驱动机构吊挂驱动石英棒下降，经烧结区致密化后进入槽沉炉，由底部开始逐渐熔融摊开在槽沉模具内，避免因石英棒长径比过大导致折叠、倾倒，进而造成产品中出现条纹、气泡、均匀性差以及应力大的问题；实现了大尺寸、低缺陷、高性能、高纯度产品的生产，可应用于IC光掩膜基板的开发。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英基板制备，具体涉及一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统。

技术介绍

1、石英玻璃是由单一组分二氧化硅组成的非晶态材料，是特种工业技术玻璃，具有膨胀系数低、耐高温、耐热震，以及化学稳定性和电绝缘性良好等特点，并且能透过紫外线和红外线，广泛应用于制作半导体、电光源器、半导体通信装置、激光器，光学仪器等工业领域。就半导体光掩模基板而言，由石英玻璃制成的基板，其化学稳定性最优，具有高硬度、低膨胀系数和透光性强等优势，适用于较高精度要求的产品生产，广泛应用于ic用光掩膜等。

2、合成石英具有纯度高、透过率高、均匀性好、应力低、无条纹、无颗粒结构、无气泡、无包裹体、无荧光、耐激光损伤等优异的光学性能，还兼备卓越的热性能、电性能、机械性能和化学性能，是193nm波段光刻系统所选的关键材料。光刻级石英材料要求极高，仅其光学均匀性就需在1.0×10-6内，其对石英材料的均匀性、透过率有着越来越高的要求，这意味着对石英坯料制备环节的要求也越来越严格。

3、石英玻璃生产工艺目前已具有多种，其中之一为vad(真空电弧加热脱气)法合成石英本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，包括烧结炉、槽沉炉、称重机构、驱动机构以及槽沉模具；

2.如权利要求1所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，所述烧结炉包括炉芯管，所述炉芯管的外周从上到下套设第一保温层、第一加热器和第二保温层。

3.如权利要求1所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，所述槽沉炉包括炉体，所述炉体上部的外周设置第二加热器，所述槽沉模具位于所述第二加热器包围的区域内。

4.如权利要求1所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，还包括位于所述槽沉炉内的支撑平台，...

【技术特征摘要】

1.一种制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，包括烧结炉、槽沉炉、称重机构、驱动机构以及槽沉模具；

2.如权利要求1所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，所述烧结炉包括炉芯管，所述炉芯管的外周从上到下套设第一保温层、第一加热器和第二保温层。

3.如权利要求1所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，所述槽沉炉包括炉体，所述炉体上部的外周设置第二加热器，所述槽沉模具位于所述第二加热器包围的区域内。

4.如权利要求1所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，还包括位于所述槽沉炉内的支撑平台，所述支撑平台设置于所述槽沉模具的下方。

5.如权利要求4所述的制备光掩模石英基板的烧结槽沉一体化系统，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建均，肖华，李旭伟，王俊，刘利，钟媛，刘宝，
申请(专利权)人：江苏亨芯石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：