下载一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统的技术资料

文档序号:46418094

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本发明涉及集成电路制造技术领域,具体为一种线路板蚀刻液浓度控制方法及系统,包括以下步骤:对线路板蚀刻液进行实时监测,获取电导率读数与温度读数,对照线路板蚀刻工艺的预设电导率范围与温度范围,校验并筛选数据,建立有效蚀刻参数集。本发明通过实时监...
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