下载键合头、键合装置、键合方法及存储介质的技术资料

文档序号:46416630

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本申请提出一种键合头、键合装置、键合方法及存储介质,键合头包括传动机构、弹性机构和测量机构。弹性机构包括相连接的弹性单元与吸附单元,弹性单元用于在受到压力的情况下带动吸附单元产生位移,吸附单元用于吸附基片并带动基片产生位移;传动机构可将压力...
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