下载反射镜真空拼接装置及其拼接方法的技术资料

文档序号:46414187

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本发明涉及反射镜拼接技术领域,尤其涉及一种反射镜真空拼接装置及其拼接方法,拼接装置包括:拼接平台、基准靠尺和真空泵,基准靠尺用于定位待拼接的反射镜;拼接平台包括至少两个拼接单元;每个拼接单元的均设置有吸附区域;吸附区域上均匀分布有凸台和第一...
该专利属于中国北方工业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国北方工业有限公司授权不得商用。

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