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本发明系于曝光工具中的光学元件的碳污染可藉由加入碳氢化合物收集器而最小化。实施例包含超紫外线（ｅｘｔｒｅｍｅ?ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ，ＥＵＶ）微影工具，该微影工具设有包含基板（１０、１１）与高能量源（诸如，电子枪或独立ＥＵＶ源）之至少一个碳...
该专利属于先进微装置公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进微装置公司授权不得商用。

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