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本发明公开了一种晶圆减薄机的刚度测量装置及方法，所述刚度测量装置包括施力模块、位移测量模块、视觉辅助模块和信号处理模块。本发明采用弧形施力板、压电陶瓷片与蝶形弹簧的复合结构作为核心施力单元，通过压电陶瓷片加载模拟真实磨削力，蝶形弹簧提供施力...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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