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本技术公开了一种固化工艺设备。该固化工艺设备包括：工艺腔体，其内部放置待进行薄膜固化的晶圆；灯箱，位于所述工艺腔体内的上方，内部设有紫外光源，用于提供固化所述薄膜的紫外光线；通风管路，其一端连接所述灯箱，另一端连通外部；以及旋转电机，装配在...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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