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本发明公开了一种晶圆传输设备，包括壳体，壳体包括与晶圆装载装置对接的清洁腔室，清洁腔室顶部设置有过滤器，过滤器上压接有一个罩盖，晶圆传输设备还包括一个用于升降罩盖的升降装置。升降装置包括承压件、连杆机构、导向机构和驱动机构，承压件与罩盖固定...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

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