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本发明涉及一种晶圆多项检测中的自动对焦方法，包括以下步骤：S1、标定对焦位置：S11：移动电机Z轴，直至晶圆载台刚好进入共聚焦探头的工作距离，利用电机轴自带的坐标系统，记录此时Z轴的高；S12：在白纸上画一条十字线，将共聚焦探头发射出的白光...
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