下载一种微压传感器件及其制备方法的技术资料

文档序号:46376276

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本发明涉及功能材料技术领域,特别涉及一种微压传感器件及其制备方法。现有基于石墨烯的风压传感器多数采用面状电极或简单叠层结构,存在方向响应一致性差、灵敏度分布不均、机械稳定性不足。本发明提供一种微压传感器件,在第一方向上,所述微压传感器件包括...
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