【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及功能材料，特别涉及一种微压传感器件及其制备方法。
技术介绍
1、随着智慧城市、无人机导航、智能交通与高端风洞试验系统的不断发展，对于风压监测精度、响应速度及器件柔性性能的要求日益提升。作为核心感知部件之一的风压传感器，其性能直接影响到整个系统的响应效率与数据精度。目前，市场上主流风压传感器大多采用硅基压阻、电容或热膜式检测原理，这类器件虽在稳定性和工艺成熟度方面具备优势，但普遍存在灵敏度有限、柔性不足、适应复杂曲面环境能力差以及制造成本较高等问题，难以满足新一代柔性智能设备对微小风压信号高灵敏、可变形和轻质化的应用需求。
2、近年来，石墨烯由于其超高比表面积、卓越的导电性能、力学柔韧性以及良好的环境稳定性，逐渐成为柔性传感器领域的理想功能材料。基于石墨烯的传感器件在微弱气流检测、柔性电子皮肤和可穿戴设备中展现出广阔应用前景。然而，现有基于石墨烯的风压传感器多数采用面状电极或简单叠层结构，存在方向响应一致性差、灵敏度分布不均、机械稳定性不足等问题，制约了其在多维风场感知和实际复杂工况中的推广应用。
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【技术保护点】
1.一种微压传感器件，其特征在于，在第一方向上，所述微压传感器件包括依次设置的柔性封装层、传感层、硅胶层和柔性印刷电路板，第一方向为由所述柔性封装层指向所述柔性印刷电路板的方向，所述传感层采用单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶制成。
2.根据权利要求1所述微压传感器件，其特征在于，所述单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶厚度为40μm～200μm，壁厚为30nm～130 nm，密度为5mg/cm3～15mg/cm3。
3.根据权利要求2所述微压传感器件，其特征在于，所述柔性封装层为聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯膜厚度为10 μm。<...
【技术特征摘要】
1.一种微压传感器件，其特征在于，在第一方向上，所述微压传感器件包括依次设置的柔性封装层、传感层、硅胶层和柔性印刷电路板，第一方向为由所述柔性封装层指向所述柔性印刷电路板的方向，所述传感层采用单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶制成。
2.根据权利要求1所述微压传感器件，其特征在于，所述单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶厚度为40μm～200μm，壁厚为30nm～130 nm，密度为5mg/cm3～15mg/cm3。
3.根据权利要求2所述微压传感器件，其特征在于，所述柔性封装层为聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯膜厚度为10 μm。
4.根据权利要求3所述微压传感器件，其特征在于，所述微压传感器件包括4个可变电阻，所述可变电阻的初始值为10～11ω，所述可变电阻的可变阻值范围为0～4ω。
5.根据权利要求3所述微压传感器件，其特征在于，所述硅胶层采用dragon skin 10制成；所述传感层为以二维平面内的坐标轴为骨架的对称性放射传感阵列。
6.根据权利要求5所述微压传感器件，其特征在于，所述柔性印刷电路板上设置有电极，所述电极上设置有导电银浆层。
7.根据权利要求1～6中任一项所述微压传感器件，其特征在于，所述单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶制备包括选取氧化度均匀的氧化石墨烯分散液涂布...
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