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本发明公开了一种钛掺杂氧化镍纳米片气体传感器及其制备方法，涉及气体传感器技术领域，包括：基底和若干个叉指电极，叉指电极上覆盖有气敏涂层，气敏涂层为钛掺杂氧化镍纳米片复合材料，基底为硅基底、聚合物基底、陶瓷基底或蓝宝石基底中的一种，叉指电极由...
该专利属于北京赛微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京赛微电子股份有限公司授权不得商用。

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