下载体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置的技术资料

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一种体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置,谐振装置包括:声反射层;第一电极层,包括:第一谐振部;位于第一谐振部外侧的第一衰减部;位于第一衰减部外侧的第一反射部;压电层,第一电极层位于第一侧,声反射层位于第一侧或第二侧;第二电极层,位于第二侧...
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