温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种硅片痕量元素的检测方法。硅片痕量元素的检测方法包括：提供硅片；提供导电垫片，将导电垫片置于硅片远离离子源的表面；对硅片进行辉光放电，以检测其中的痕量元素。本申请通过将导电垫片置于硅片远离离子源的表面后进行辉光放电检测，一方面硅...
该专利属于内蒙古中环晶体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古中环晶体材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。