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本发明涉及铁电电容器件技术领域，尤其涉及一种基于晶面工程化电极的氧化铪基铁电电容器件及其制备方法和应用。所述制备方法包括以下步骤：提供衬底；在所述衬底的一面通过第一射频磁控溅射处理得到底电极层；在所述底电极层远离衬底的表面设置氧化铪基铁电层...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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