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本发明公开了一种接近式曝光机,包括:设置于第一投影镜头和第二投影镜头中间位置的旋转机构、固定连接于所述旋转结构用于承载两个掩膜版的旋转板,以及,设置于第一送料组件和第二送料组件之间的两组除尘机构,两组所述除尘机构以旋转机构为中心对称设置,且...该专利属于源卓微纳科技(苏州)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过源卓微纳科技(苏州)股份有限公司授权不得商用。
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