【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及曝光设备，特别是一种接近式曝光机。
技术介绍
1、由于光伏行业产能要求高，在对产品进行曝光过程中，传统接近式曝光方案，由于光刻油墨的挥发性，会使得掩膜版表面被挥发油墨污染，在实际的生产的过程中，如果要批量的生产产品，需要每日更换保养掩膜版，增加了生产运营成本，且无法在曝光的过程中清洁掩膜版，导致产品良率的下降。
2、因此，如何在曝光的过程中快速清洁掩膜版，是目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
2、一种接近式曝光机，包括：底座、固定连接于所述底座顶部的龙门架、两组设置于所述龙门架顶部两侧的第一投影镜头和第二投影镜头，设置于所述底座顶部且分别位于第一投影镜头、第二投影镜头下方的第一送料组件和第二送料组件，还包括：设置于第一投影镜头和第二投影镜头中间位置的旋转机构、固定连接于所述旋转结构用于承载两个掩膜版的旋转板，以及，设置于第一送料组件和第二送料组件之间的两组除尘机构，两组所述除尘机构以旋转机构为中心对...
【技术保护点】
1.一种接近式曝光机，包括：底座、固定连接于所述底座顶部的龙门架、两组设置于所述龙门架顶部两侧的第一投影镜头和第二投影镜头，设置于所述底座顶部且分别位于第一投影镜头、第二投影镜头下方的第一送料组件和第二送料组件，其特征在于，还包括：设置于第一投影镜头和第二投影镜头中间位置的旋转机构、固定连接于所述旋转机构用于承载两个掩膜版的旋转板，以及，设置于第一送料组件和第二送料组件之间的两组除尘机构，两组所述除尘机构以旋转机构为中心对称设置，且与所述第一投影镜头和所述第二投影镜头呈十字型排列。
2.根据权利要求1所述的一种接近式曝光机，其特征在于，所述旋转机构包括DD...
【技术特征摘要】
1.一种接近式曝光机，包括：底座、固定连接于所述底座顶部的龙门架、两组设置于所述龙门架顶部两侧的第一投影镜头和第二投影镜头，设置于所述底座顶部且分别位于第一投影镜头、第二投影镜头下方的第一送料组件和第二送料组件，其特征在于，还包括：设置于第一投影镜头和第二投影镜头中间位置的旋转机构、固定连接于所述旋转机构用于承载两个掩膜版的旋转板，以及，设置于第一送料组件和第二送料组件之间的两组除尘机构，两组所述除尘机构以旋转机构为中心对称设置，且与所述第一投影镜头和所述第二投影镜头呈十字型排列。
2.根据权利要求1所述的一种接近式曝光机，其特征在于，所述旋转机构包括dd马达，所述dd马达固定安装于所述龙门架底部，所述dd马达的底部与旋转板顶部中间位置连接。
3.根据权利要求1所述的一种接近式曝光机，其特征在于，所述除尘机构包括固定连接于所述底座顶部的支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有下除尘件，所述龙门架的底部相对下除尘件的上方固定连接有给掩膜版除尘的上除尘件。
4.根据权利要求3所述的一种接近式曝光机，其特征在于，所述上除尘件包括两个固定连接于所述龙门架底部的安装板，至少一组固定连接于两个所述安装板之间的接气管，所述接气管的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡瑞，马运军，钱文泽，黄笑，张雷，
申请(专利权)人：源卓微纳科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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