下载一种底盘及还原炉的技术资料

文档序号:46361176

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种底盘及还原炉,属于多晶硅生产技术领域。该底盘包括盘体;第一电极组,至少具有14对第一电极,至少14对第一电极沿位于盘体上的第一环形圈间隔设置;第二电极组,至少具有14对第二电极,至少2对第二电极间隔设于第一环形圈上,至少12...
该专利属于包头旭阳硅料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头旭阳硅料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。