温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及光源系统、基于光源系统的光路优化方法及加工设备，其中光源系统包括：用于输出光束的灯珠模块；复合匀光器包括依次设置的准直透镜和复眼透镜组，复合匀光器位于灯珠模块的一侧；聚光光组位于复合匀光器的一侧，聚光光组的一侧正对于光源系统的输出...
该专利属于深圳市大族半导体装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族半导体装备科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。