【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学加工，特别是涉及一种光源系统、基于光源系统的光路优化方法及加工设备。
技术介绍
1、随着光学加工技术不断进步以及光学加工设备应用场景持续多样化，对光学加工的要求越来越高。在激光精密加工领域，相比汞灯光源，uv led光源长寿命、可减少更换频率，且长期维护成本低，故被广泛应用。
2、现有技术中的将原有的汞灯光源系统改造为uv led光源系统时存在汞灯光路与led发散角不匹配，容易导致光束均匀性变差。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种光源系统、基于光源系统的光路优化方法及加工设备。
2、一种光源系统，包括：
3、用于输出光束的灯珠模块；
4、复合匀光器，包括依次设置的准直透镜和复眼透镜组，所述复合匀光器位于所述灯珠模块的一侧；
5、聚光光组，位于所述复合匀光器的一侧，所述聚光光组的一侧正对于所述光源系统的输出端。
6、在其中一个实施例中，所述聚光光组包括位于所述复合匀光器一侧的第一反...
【技术保护点】
1.一种光源系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述聚光光组包括位于所述复合匀光器一侧的第一反射镜、位于所述第一反射镜一侧的第二反射镜、位于所述第二反射镜一侧的球面镜；
3.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述灯珠模块包括：
4.根据权利要求3所述的光源系统，其特征在于，所述散热单元包括：
5.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述光源系统还包括：
6.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述光源系统还包括：
7.一种基于权利要求1至6任...
【技术特征摘要】
1.一种光源系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述聚光光组包括位于所述复合匀光器一侧的第一反射镜、位于所述第一反射镜一侧的第二反射镜、位于所述第二反射镜一侧的球面镜；
3.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述灯珠模块包括：
4.根据权利要求3所述的光源系统，其特征在于，所述散热单元包括：
5.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述光源系统还包括：
6.根据权利要求1所述的光源系统，其特征在于，所述光源系统还包括：
7.一种基于权利要求1至6...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘望飞，曾威，龙腾云，韩子娟，王帆帆，庄昌辉，周志伟，尹建刚，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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