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本技术涉及半导体加工设备，具体为一种掩膜板防灰翻转组件，包括用于夹紧掩膜板的防灰夹爪、驱动防灰夹爪张开及闭合的夹持单元，以及驱动夹持单元翻转的翻转单元；所述防灰夹爪连接外部清洁气源；所述翻转单元安装在升降单元的伸缩端；翻转作业时，升降单元改...
该专利属于无锡富创得精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡富创得精密设备有限公司授权不得商用。

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