一种掩膜板防灰翻转组件制造技术

本技术涉及半导体加工设备，具体为一种掩膜板防灰翻转组件，包括用于夹紧掩膜板的防灰夹爪、驱动防灰夹爪张开及闭合的夹持单元，以及驱动夹持单元翻转的翻转单元；所述防灰夹爪连接外部清洁气源；所述翻转单元安装在升降单元的伸缩端；翻转作业时，升降单元改变翻转单元的高度，进而带动夹持单元完成往复升降动作，夹持单元驱动防灰夹爪完成开合动作，防灰夹爪在夹持动作中，持续吹气，避免翻转过程灰尘落附；本掩膜板防灰翻转组件，整体采用模块化结构，合理利用空间，节省设备空间，并且优化结构特征，将防灰除尘的气吹结构与夹爪结合，减少设备内部线路及设备复杂度，提高翻转动作效率，减少失误概率，提高整体的掩膜板检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工设备，具体为一种掩膜板防灰翻转组件。

技术介绍

1、光掩膜板是半导体制造中的一个关键工具，用于定义集成电路和其他微电子设备上的图案和结构，其是一个透明的玻璃或石英基板，上面覆盖有特定的图案，通过光刻技术将所需的图案投射到半导体晶片的表面；因此掩膜板的质量问题也是半导体加工的关注点之一；

2、在推动半导体加工自动化的进程中，掩膜板相关的检测搬运工作也要符合相应的自动化标准，常规的检测扫码为流水线传输配合对应工站，或采用人工进行操作；其整体占地面积宽，设备空间占用大，人为因素容易引起质量问题不可控，因此亟需一种适配掩膜板自动化加工的，用于扫码识别过程中进行翻转的组件。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种有模块化结构，安装便利，占地面积小，可防尘的快速翻转的组件。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案；

3、一种掩膜板防灰翻转组件，包括用于夹紧掩膜板的防灰夹爪、驱动防灰夹爪张开及闭合的夹持单元，以及驱动夹持单元翻转的翻转单元；所述防灰夹爪连接外部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，包括用于夹紧掩膜板(500)的防灰夹爪(740)、驱动防灰夹爪(740)张开及闭合的夹持单元(730)，以及驱动夹持单元(730)翻转的翻转单元(720)；所述防灰夹爪(740)连接外部清洁气源；

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，所述防灰夹爪(740)包括一组与夹持单元(730)连接的夹持臂(741)，所述夹持臂(741)内置吹灰气孔(742)，所述吹灰气孔(742)汇集连通并采用气吹管路(743)连通外部气源。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，所述夹持臂(741)末端...

【技术特征摘要】

1.一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，包括用于夹紧掩膜板(500)的防灰夹爪(740)、驱动防灰夹爪(740)张开及闭合的夹持单元(730)，以及驱动夹持单元(730)翻转的翻转单元(720)；所述防灰夹爪(740)连接外部清洁气源；

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，所述防灰夹爪(740)包括一组与夹持单元(730)连接的夹持臂(741)，所述夹持臂(741)内置吹灰气孔(742)，所述吹灰气孔(742)汇集连通并采用气吹管路(743)连通外部气源。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，所述夹持臂(741)末端的内侧还活动安装有防滑垫块(744)。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板防灰翻转组件，其特征在于，所述翻转单元(720)包括翻转机壳(725)、转动安装在翻转机壳(725)上用于连接夹持单元(730)的翻转轴(722)，以及用于驱动翻转轴(722)转动的翻转驱动(721)。

5.根据权利要求4所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘孟飞，郑青斌，宁坚，茅茂，曹金星，弓利军，
申请(专利权)人：无锡富创得精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：