下载便于定位金属连线短路位置的测试结构及测试方法的技术资料

文档序号:46336492

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种便于定位金属连线短路位置的测试结构及测试方法,测试结构包括蛇形结构、梳状结构、PN节、第一焊盘和第二焊盘;蛇形结构包括位于第n金属层的多条长金属线和位于第n‑1金属层的多条第n‑1金属线,蛇形结构与PN节连接,蛇形结构与第一...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。