温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法，涉及半导体材料技术领域。制备方法包括：在经预处理的衬底上生长Al1‑xMxN掺杂极化层，x为0.15‑0.45中任一值，在Al1‑xMxN掺杂极化层的表面制备铂电极层，并对铂电极层施...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。