【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体材料，具体涉及一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法。
技术介绍
1、远程外延是在衬底上生长或者转移少层石墨烯，衬底静电势可以透过石墨烯作用到外延层，当衬底对外延层的作用力远大于二维材料作用力时，gan外延层的取向不再由插入的二维材料主导，而是由衬底的远程静电作用力决定，外延层严格遵循着衬底的晶格信息。远程外延作用力大小介于范德华力和共价力之间，这就使得gan外延层中晶体取向更为一致，缓解了范德华外延中面内转角和大角晶界的问题，同时又保留了范德华外延中外延层可剥离以及缓解衬底和外延层晶格失配、热失配的优势。远程外延已成为十分有前途的生长单晶电子学和光电子学的方法。
2、现有技术中，通常利用具有较强极化效应的铁电材料作为极性衬底，用于调控远程外延的氮化物薄膜的沉积质量，例如，铁电材料可以是linbo3、batio3、srtio3、knbo3或pzt。但氮化物薄膜中的氮化镓外延层制备时的沉积温度较高，会导致部分铁电材料铁电极化的消失，从而影响后续氮化物外延层的生长质量。
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【技术保护点】
1.一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的远程外延制备方法，其特征在于，所述对所述铂电极层进行刻蚀处理的步骤还包括：
3.根据权利要求2所述的远程外延制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的远程外延制备方法，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的远程外延制备方法，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的远程外延制备方法，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的远程外延制备方法，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的远程外延制备方
【技术特征摘要】
1.一种基于极化效应的氮化物薄膜的远程外延制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的远程外延制备方法，其特征在于，所述对所述铂电极层进行刻蚀处理的步骤还包括：
3.根据权利要求2所述的远程外延制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的远程外延制备方法，其特征在于，
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