温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆背光装置及包含其的晶圆背光光学检测系统，晶圆背光装置用于吸附且照亮一待测晶圆，晶圆背光装置包括一晶圆吸附载台以及一背光光源装置。晶圆吸附载台用以在正面吸附待测晶圆，且晶圆吸附载台的本体具有一中央镂空部、以及设置于中央镂空部...
该专利属于由田新技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过由田新技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。