温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种半导体加工用夹具的螺纹压电促动器，包括：底座；螺母，与底座固定连接；螺杆，与螺母螺纹连接；第一振子，包括基部、摆动部和柔性铰链；第一压电叠堆，设置在基部与摆动部之间，用于驱动摆动部摆动；止回机构...
该专利属于安徽见行科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽见行科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。