下载一种半导体用桶的气密性测试装置的技术资料

文档序号:46314938

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本发明公开了一种半导体用桶的气密性测试装置,具体包括测试箱、支撑组件、密封盖、升降组件以及检测组件;测试箱内设置有加热器,用于调控桶体外壁温度,支撑组件设置于测试箱内,桶体放置于支撑组件上;密封盖盖接于桶体上,密封盖上设置有进气口,进气口连...
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