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一种能改善沉积膜厚均匀度的静电吸盘装置，包含载台、电极单元，及端子单元。所述载台包括承载面。所述电极单元设置于所述载台内且用以产生静电。所述端子单元设置于所述电极单元且位于所述电极单元远离所述承载面的一侧，所述端子单元电连接所述电极单元且相...
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