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本发明公开了一种核壳结构的BCN包覆陶瓷粉体、陶瓷静电卡盘及其制备方法，该核壳结构的BCN包覆陶瓷粉体在陶瓷粉体上包覆有由硼酸、葡萄糖和尿素在惰性气氛下烧结获得的BCN包覆层。本发明在陶瓷粉体表面包覆BCN包覆层，BCN包覆层具有良好的电子...
该专利属于厦门稀土材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过厦门稀土材料研究所授权不得商用。

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