温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种密封式晶圆搬运装置，包括：传动结构、驱动结构和密封结构，传动结构包括旋转杆，旋转杆上安装有夹持臂；驱动结构包括壳体和驱动组件，壳体内开设有容置空间，驱动组件安装在容置空间内，旋转杆贯穿壳体与驱动组件相连；驱动结构驱动旋转杆旋...
该专利属于无锡琨圣芯成科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡琨圣芯成科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。