下载一种用于薄片工件双侧同步均匀化学复合镀装置及方法的技术资料

文档序号:46245572

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本发明公开了一种用于薄片工件双侧同步均匀化学复合镀装置及方法,属于化学复合镀技术领域,包括倾斜安装的安装座,安装座上垂直设置有用于夹持薄片工件的夹持机构,且夹持机构能够沿着安装座的径向方向调整其夹持辊之间的夹持间距,薄片工件夹持在夹持机构上...
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