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一种基于摩尔微结构的新型集成化多维光场感知器件制造技术
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下载一种基于摩尔微结构的新型集成化多维光场感知器件的技术资料
文档序号:46217890
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本发明公开了一种基于摩尔微结构的新型集成化多维光场感知器件,其主要由亚波长尺寸的微结构层,感光阵列层,透明保护窗组成。该摩尔微结构层是由两个或多个具有微小平移或旋转的周期性结构的叠加组成,叠加后形成的摩尔微结构具有尺寸较大的摩尔超周期,一个...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
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