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本发明涉及碳化硅粉料堆积密度测量技术领域，尤其是一种准确测量碳化硅粉料堆积密度的方法。其包括将粉料置于容器中，加入易挥发液体填充间隙后称重测体积；通过加热和冷凝实现固液分离，分别测量液体重量与体积，计算粉料重量与体积，最终得出堆积密度。本方...
该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。

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