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本技术公开了一种靶材冷却板及磁控溅射装置，靶材冷却板包括底板和封板，封板用于盖合底板；在底板的长度方向上，底板的一端设置有进液孔，另一端设置有出液孔；底板邻近封板的端面上设置有流道组，流道组用于使冷却液流过；靶材冷却板用于使冷却液由进液孔流...
该专利属于东莞市科盛机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市科盛机电设备有限公司授权不得商用。

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