【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁控溅射，尤其涉及一种靶材冷却板及磁控溅射装置。
技术介绍
1、磁控溅射的工作原理是指电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出ar正离子和新的电子；新的电子飞向基片，ar正离子在电场作用下加速飞向靶材，并以高能量轰击靶材表面，使靶材发生溅射。但是，因为能量很大一部分会转为热量，这种热量将使靶材温度达升高，影响成膜质量，现有技术中，采用单流道方式的冷却装置进行降温，但是该种方式的降温效果不好，不能充分的散热。
技术实现思路
1、本技术主要解决的技术问题是提供一种靶材冷却板，解决降温效果不好，不能充分散热的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是提供一种靶材冷却板，包括底板和封板，封板用于盖合底板；在底板的长度方向上，底板的一端设置有进液孔，另一端设置有出液孔；底板邻近封板的端面上设置有流道组，流道组用于使冷却液流过；靶材冷却板用于使冷却液由进液孔流入，冷却液经过流道组后，由出液孔排出。
3、在一些实施例中，流道组...
【技术保护点】
1.一种靶材冷却板，其特征在于，包括底板和封板，所述封板用于盖合所述底板；在所述底板的长度方向上，所述底板的一端设置有进液孔，另一端设置有出液孔；所述底板邻近所述封板的端面上设置有流道组，所述流道组用于使冷却液流过；所述靶材冷却板用于使所述冷却液由所述进液孔流入，所述冷却液经过所述流道组后，由所述出液孔排出。
2.根据权利要求1所述的靶材冷却板，其特征在于，所述流道组包括多个单流道，多个所述单流道沿所述底板的长度方向上并列设置；所述流道组用于使所述冷却液同时流经所述单流道后排出。
3.根据权利要求2所述的靶材冷却板，其特征在于，在所述底板的宽度...
【技术特征摘要】
1.一种靶材冷却板，其特征在于，包括底板和封板，所述封板用于盖合所述底板；在所述底板的长度方向上，所述底板的一端设置有进液孔，另一端设置有出液孔；所述底板邻近所述封板的端面上设置有流道组，所述流道组用于使冷却液流过；所述靶材冷却板用于使所述冷却液由所述进液孔流入，所述冷却液经过所述流道组后，由所述出液孔排出。
2.根据权利要求1所述的靶材冷却板，其特征在于，所述流道组包括多个单流道，多个所述单流道沿所述底板的长度方向上并列设置；所述流道组用于使所述冷却液同时流经所述单流道后排出。
3.根据权利要求2所述的靶材冷却板，其特征在于，在所述底板的宽度方向上，邻近中间的所述单流道的长度，依次短于两边的所述单流道的长度。
4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄汉乐，李轩，袁逢曾，
申请(专利权)人：东莞市科盛机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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